Technologia TFT została opracowana w latach 90. Przyjmuje nowe materiały i nowe procesy dla technologii produkcji układów półprzewodnikowych na dużą skalę. Jest on używany do ciekłokrystalicznych (LC), nieorganicznych i organicznych cienkowarstwowych elektroluminescencji (EL i OEL) wyświetlaczy płaskoekranowych. baza. TFT jest wafla innego niż pojedynczy, takich jak szkło lub podłoże z tworzywa sztucznego (oczywiście, może być również na wafel) poprzez sputtering i chemicznych procesów osadzania do tworzenia różnych folii niezbędnych do produkcji obwodów i na dużą skalę półprzewodnikowe układy scalone (LSIC) są produkowane przez przetwarzanie folii. . Zastosowanie podłoży krystalicznych innych niż pojedyncze może znacznie obniżyć koszty i jest rozszerzeniem tradycyjnych wielkoskalowych układów scalonego na wielkopoziomowe, wielofunkcyjne i tanie kierunki. Produkcja TFT, które kontrolują wydajność przełączania pikseli (LC lub OLED) na dużych podłożach szklanych lub plastikowych, jest trudniejsza technicznie niż produkcja dużych układów scalonych na waflach krzemowych. Wymagania dla środowiska produkcyjnego (stopień oczyszczania wynosi 100), wymagania dotyczące czystości surowców (czystość elektronicznego gazu specjalnego wynosi 99,999985%), a wymagania dotyczące urządzeń produkcyjnych i technologii produkcji przekraczają dużą integrację półprzewodników. Jest to szczyt nowoczesnej produkcji na dużą skalę. Technologia. Jego główne cechy to:
(1) Duży obszar: Pierwsza generacja wielkopoziomowego podłoża szklanego (300mm×400mm) TFT-LCD została oddana do produkcji na początku lat 90. W pierwszej połowie 2000 roku powierzchnia podłoża szklanego została rozszerzona do 680mm×880mm), a rozmiar podłoża szklanego wynosił 950mm×1200mm. Wyjmowane zostanie również podłoże szklane. Zasadniczo nie ma ograniczeń obszarowych.
(2) Wysoka integracja: 1,3-calowy układ TFT używany do projekcji ciekłokrystalicznych ma rozdzielczość XGA zawierającą miliony pikseli. Grubość folii 16,1-calowego amorficznego krzemu TFT o rozdzielczości SXGA (1280×1024) wynosi tylko 50nm, a technologia TAB ON GLASS i SYSTEM ON GLASS, integracja jego układu stykowego, wymagania dotyczące sprzętu i technologii zasilania oraz trudności techniczne Wszystkie przekraczają tradycyjne LSI.
(3) Potężne funkcje: TFT został po raz pierwszy użyty jako obwód położenia matrycy w celu poprawy charakterystyki zaworów świetlnych ciekłych kryształów. W przypadku wyświetlaczy o wysokiej rozdzielczości, dzięki regulacji napięcia w zakresie od 0 do 6V (zazwyczaj od 0,2 do 4V), uzyskuje się precyzyjną kontrolę obiektu, umożliwiając wyświetlaczowi LCD uzyskanie wysokiej jakości i wysokiej rozdzielczości wyświetlaczy. TFT-LCD to pierwszy wyświetlacz płaskoekranowy w historii ludzkości, który przekracza CRT pod względem jakości wyświetlania. A ludzie zaczynają integrować układ scalony sterownika na podłożu szklanym, a funkcja całego TFT będzie bardziej wydajna, co nie ma sobie równych w tradycyjnych, wielkoskalowych układach scalonych półprzewodników.
(4) Niski koszt: Szklane podłoże i podłoże z tworzywa sztucznego zasadniczo rozwiązują problem kosztów wielkoskalowych półprzewodników układów scalonych i otwierają szeroką przestrzeń do stosowania wielkoskalowych układów scalonego półprzewodników.
